Ta 스퍼터 타겟

1.치수:직경 50-400mm X 두께 3-28mm
2.등급:R05200 R05400 R05252 (Ta-2.5W) R05255 (Ta{7}}W)
3.순도: 99.95% 이상 (최대 99.99%)
4. 재결정화: 최소 95%
5. 곡물 크기: 최소 40um
6. 표면 거칠기: 최대 Ra0.4
7.평탄도:0.1mm 또는 최대 0.10%
8. 공차: 직경 +/-0.254mm

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제품 소개

Yusheng 금속 탄탈륨 스퍼터링 타겟 생산 공정
Yusheng Metal의 탄탈륨 스퍼터링 타겟 제품은 EB 전자 충격, 압연 및 어닐링 공정을 사용하여 탄탈륨 잉곳에서 가공됩니다. 이 공정을 통해 만들어진 타겟은 균일한 결정 구조, 질감, 에너지 분포를 가지며 내부 구조가 양호합니다.

최근 IC(집적회로) 산업의 규모가 지속적으로 확대되고 있으며, 칩 공정 기술도 고밀도화 방향으로 발전하고 있다. 탄탈륨은 강한 화학적 안정성으로 인해 구리 연결 공정에서 확산 방지층의 스퍼터 코팅 재료로 자주 사용됩니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟의 균일한 미세 구조는 스퍼터링 성능에 직접적인 영향을 미칩니다.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). 박막 제조 시 타겟 두께에 따라 스퍼터링 속도가 달라지는데, 이는 스퍼터링 공정의 안정성에 영향을 미칩니다.

Ta 스퍼터링 타겟 원리

탄탈륨은 얇은 산화물을 형성하는 능력과 산화물 층의 보호 특성으로 인해 전해 커패시터 생산에 자주 사용됩니다. 탄탈륨 증착의 초기 단계에서는 증발법이 사용되었으나, 1960년대 후반에 스퍼터 코팅과 같은 물리적 기상 증착 기술이 우수한 박막 증착 방법으로 등장하면서 증발법을 대체하게 되었습니다.

물리기상증착 공정에서는 이온화된 아르곤 원자가 전자기 역학을 사용해 타겟에 충격을 가해 금속 타겟 원자를 쓰러뜨리고, 금속 타겟 원자가 기판에 증착되어 박막을 형성합니다.

탄탈륨 스퍼터링 타겟

탄탈륨 타겟

Yusheng 금속 생산 설비

Yusheng Metal은 제련, 단조, 열간 압연, 냉간 압연, 마무리부터 완제품에 이르기까지 완벽한 과학 연구, 생산, 테스트, 판매 및 서비스 시스템을 갖추고 있습니다. 350KW 전자동 포격로, 2000T 유압 프레스, 1700mm 진공 어닐링로, 42KW 1대와 15KW 정밀 단조 기계 2대, 마감 스트립 밀 14대, LDD120, LDD-40, LDD{8}를 보유하고 있습니다. }, LDD-8 복관압연기, 2-롤 500T 블랭킹밀, 냉간압연기 4기, 냉간압연기 6기, 15KW 양면 신선기, 원통연삭기, 박리기, 표면 분쇄기 및 일련의 장비.

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탄탈륨 스퍼터링 타겟 적용

탄탈륨 스퍼터링 타겟 재료는 압력 가공된 탄탈륨 시트로 만들어지며 순도가 높고 입자가 미세하며 재결정 구조가 좋고 3축 일관성이 좋은 특성을 가지고 있습니다.
탄탈룸 스퍼터링 타겟은 광전자공학 및 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이들은 주로 음극 스퍼터링 코팅, 고진공 흡입 활물질, 광섬유, 반도체 웨이퍼, 집적 회로 등의 스퍼터링 증착에 사용됩니다. 이는 박막 기술의 중요한 부분입니다.

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Baoji Yusheng 금속 기술 Co.% 2c Ltd.희귀한 금 탄탈륨, 니오븀, 바나듐, 지르코늄 및 하프늄 가공 부품을 공급하는 글로벌 공급업체입니다. 주로 와이어, 로드, 플레이트, 튜브, 링, 도가니 등 및 기타 비표준 특수 가공 부품을 생산합니다. 우리는 재료 기술 연구 및 개발, 재료 성과의 산업화, 재료 제품의 응용 및 홍보, 재료 산업 집합체, 재료 산업 생태계의 전체 체인을 포괄하여 회사의 제품 및 재료 분야와 관련된 정보를 정기적으로 공개할 것입니다. 언제든지 저희에게 연락하실 수 있습니다.