티타늄 타겟

티타늄(Ti) 타겟 개요

티타늄 타겟 재료, 티타늄 원소 기호 Ti, 원자 번호 22, 밀도 4.454g/Cm3, 물성: 융점 1668도, 끓는점 3262도, 비열용량0.52(J/(Kg-K) , 증발열 421(KJ/Mol), 융해열 15.45(KJ/Mol), 전기 전도도 0.0234(106/Cm). 고순도 티타늄의 높은 비용으로 인해 응용 분야 반도체 재료 및 초고진공 장치의 가스흡수재료로 주로 사용되는 고순도 티타늄은 가스흡수성, 특히 수소, CH4, Co2 가스를 흡수하여 고진공 및 초고진공에 널리 사용할 수 있습니다. -고진공 시스템 고순도 티타늄 스퍼터링을 사용하여 LSI, VLSI 및 ULSI의 라인 네트워크를 만들 때 이러한 통합 부품은 매우 가볍고 얇고 크기가 작고 라인에서 조밀하게 만들 수 있습니다. 장벽 층 금속 재료로 사용됩니다.

우리는 고순도 스퍼터링된 티타늄 타겟을 생산합니다. 이 타겟의 가장 중요한 이점은 물리적 기상 증착 동안 우수한 전기 전도성과 입자 최소화를 갖는 필름을 얻는 것입니다. 사용된 분석 방법: 1. GDMS 또는 ICP-OES를 사용한 금속 원소 분석; 2. LECO를 이용한 기체 원소 분석.

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