오늘은 대면적 코팅 생성에 영향을 미치는 최종 요소인 챔버 조건에 대해 논의하겠습니다. 타겟 재료 자체에는 품질, 형태, 결정 방향 및 기타 요소에 문제가 있습니다. 현재 요인과 이전에 언급된 요인 사이의 주요 차이점은 현재 요인이 대상 물질 자체가 아닌 외부 조건에만 관련된다는 것입니다.
이후의 편집자는 챔버의 조건이 대상의 필름 형성에 어떻게 영향을 미치는지 완전히 이해할 수 있도록 도와줄 것입니다.
캐비티가 깨끗하든 깨끗하지 않든, 생산 공정이 너무 오래 걸리면 더 많은 오염물질이 캐비티 표면에 흡착됩니다. 이러한 오염 물질은 제조 과정에서 나타나며 타겟 표면에 달라붙게 됩니다. 스퍼터링 과정에서 볼록한 부분에 전하가 쌓일 가능성이 높으며, 이로 인해 결절의 크기가 커지고 상당한 방전이 발생하게 됩니다. 영화의 품질에 영향을 미칩니다.
또한, 반응에 의해 생성된 비전도성 스퍼터링은 챔버 내에서 약간의 공기 누출이 있는 경우 타겟 물질의 표면에 달라붙어 결절을 형성할 수 있으며, 이는 필름 생성의 효율성과 균일성을 감소시킵니다. 결과적으로, 타겟은 챔버의 조건에 크게 영향을 받습니다.
처음에는 순수 아르곤으로 타겟을 태워서 축적물을 간단하게 제거할 수 있지만 이를 해결하지 않으면 결국 축적물이 증가하여 상당한 아크가 발생하게 되어 생산에 영향을 미칩니다. 타겟은 강한 힘으로 태워야 합니다. 코팅을 위한 청결한 환경을 유지하기 위해 진공 챔버는 정기적으로 연마, 진공 청소 및 닦아냅니다. 백네트는 또한 샌드블라스트 처리되어 부착된 금속 반응물을 제거합니다.
타겟 재료의 사용은 코팅 챔버의 환경에 의해 영향을 받으며 이는 필름 품질에도 영향을 미칩니다. 코팅 공정 중 대부분의 사람들의 초점은 챔버 조건을 무시하고 타겟 자체에 집중되므로 때로는 코팅의 상당 부분이 불만족스러운 코팅은 이로 인해 발생합니다. 친구들은 이 에세이를 읽은 후 챔버 상태를 알고 있어야 합니다.
