니오븀 타겟

니오븀 타겟, 니오븀 화학 기호 Nb, 원자 번호 41, 원자량 92.90638은 주기율표 VB 계열에 속합니다. 1801년 영국의 C. Hatchet은 니오바이트에서 새로운 원소의 산화물을 분리하고 원소 이름을 콜럼븀(한문 번역으로 콜튬)이라고 명명했습니다.

몰리브덴(10%) 니오븀 합금 스퍼터링 타겟은 박막 태양 전지 및 디스플레이에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다. 그러나, 소결 과정에서 니오브 분말에 의한 산소 흡수로 인해 소결 후의 몰리브덴-니오븀 성형체는 산소 함량이 높고 밀도가 낮다. 이번에는 니오븀 탄소가 코팅된 니오븀 분말을 CH4 분위기에서 화학적 기상 반응을 통해 제조하였다. 니오븀 탄소층은 산소의 흡수를 차단할 뿐만 아니라 원하는 온도에서 산소와 반응하여 완전히 소모될 수 있습니다. 제조 방법, 반응 매질 및 반응 매개변수가 니오븀 탄소층의 특성에 미치는 영향을 연구하고 최적의 공정 조건을 결정했습니다: 온도 600도, 반응 시간 270분, 기압 0.04MPa.

코팅의 표면 형태, 화학 조성, 분포 및 균일성은 주사 전자 현미경, X선 광전자 분광법, 전자 프로브 현미경 분석, 라만 분광법 및 원자력 현미경으로 특성화되었습니다. 산소 및 탄소 함량은 ONH 및 CS 분석기로 결정되었습니다. 표면 개질된 니오븀 분말을 몰리브덴 분말과 혼합하고 진공 소결하여 산소 함량이 190ppm, 탄소 함량이 290ppm, 상대 밀도가 93%인 Mo-10% Nb 블랭크를 얻었다. 이 블랭크의 품질은 비표면 개질 니오븀 분말로 제조된 것보다 훨씬 우수합니다.

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