회전형 용사 타겟은 케이크 모양의 편평하고 둥근 입자로 구성된 미세구조를 가지고 있으며, 입자의 방향은 회전축과 평행합니다. 이 조직은 미크론 단위의 기공을 많이 포함하고 있으며 전체 기공률은 { {0}}%. 코팅 물질, 분사 방식, 가스 유량 모두 기공의 양과 모양에 큰 영향을 미칩니다. 제조 및 보관 중 산소의 흡탈착은 물론 주변 습도도 영향을 미칩니다. 타겟은 기공과 밀접한 상관 관계가 있습니다. 결과적으로 스퍼터링 전에 열 분사 타겟은 격리된 백킹 펌프를 사용하여 표면에서 흡착된 가스를 제거해야 합니다.
열분사는 녹기 전에 증발하지 않는 막대, 선, 분말 입자와 같은 물체를 코팅할 수 있기 때문에 금속, 합금, 세라믹을 비롯한 다양한 재료를 코팅하는 데 사용할 수 있습니다. 융합 주조 타겟은 금속으로만 만들 수 있습니다. 또는 융점이 주조 기계의 융점과 일치하는 합금. 부서지기 쉬운 도자기는 주조에 적합하지 않습니다. 융점이 너무 높으면 특수 주조 장비가 필요합니다. 또한 일부 세라믹 재료는 녹기 전에 용해되거나 분해됩니다.
