May 12, 2023 메시지를 남겨주세요

텅스텐-티타늄 스퍼터링 타겟의 새로운 터닝 방법

분말 야금 공정에 사용되는 티타늄 텅스텐 타겟. 표면 품질을 보장하기 위해 일반적인 텅스텐-티타늄 초경합금 재료는 연삭 기술로 처리할 수 있습니다. 그러나 연삭 방법은 텅스텐을 가공할 때 아크 또는 테이퍼가 있는 형상을 가공하는 데 사용하기 어렵습니다. -티타늄 타겟은 이러한 모양이 원호 또는 기타 불규칙성을 갖는 경우가 많기 때문입니다. 텅스텐-티타늄 타겟을 가공하는 유일한 방법은 회전시키는 것입니다. 그러나 티타늄 합금은 강도가 크고 경도가 높으며 티타늄이 분말 형태인 경우 태우기 더 쉽습니다. 반면, 텅스텐은 분말 형태로 실온에서 깨지기 쉽고 경도가 높습니다. 텅스텐과 티타늄으로 만든 타겟은 앞서 언급한 두 가지 특성을 결합합니다. 앞서 언급한 요인으로 인해 텅스텐-티타늄 타겟을 선삭하고 가공할 때 중장비가 필요합니다. 재료, 금형 및 도구는 강력하고 견고해야 합니다. 이 기사에서는 텅스텐-티타늄 타겟을 선삭하는 새로운 기술을 설명합니다.

이 텅스텐-티타늄 타겟재의 선삭 기술은 다음과 같은 구성 요소로 구별됩니다: 백킹 플레이트 및 텅스텐-티타늄 타겟재 제공; 백킹 플레이트와 타겟 재료를 결합하여 타겟 조립체를 생성하는 단계; 스타터 도구를 사용하여 텅스텐-티타늄 타겟 어셈블리에서 텅스텐-티타늄 타겟의 첫 번째 회전을 수행합니다. 첫 번째 공구의 절삭날은 첫 번째 회전 후 80도의 끼인각을 가져야 합니다.

어셈블리의 백플레이트가 처리됩니다. 텅스텐-티타늄 타겟 어셈블리의 후면 플레이트를 처리한 후 두 번째 도구를 사용하여 타겟 블랭크에 대한 두 번째 터닝을 실행합니다. 35도 –55도는 절삭날 각도입니다. 최종 텅스텐-티타늄 대상 제품이 품질 표준을 충족하는지 확인하는 동시에 공구의 수명을 연장하고 공구 마모를 효과적으로 늦춥니다.

문의 보내기

전화

이메일

문의