대상 물질의 종류는 무엇인가 - 1부

대상 자료는 무엇입니까?

타겟은 실제로 광범위한 개념입니다. 타겟 소재를 분류하는 방법은 세 가지가 있습니다.

1. 외부 치수에 따라 원통형, 직사각형, 정사각형 판형 타겟 및 튜브형 타겟으로 나눌 수 있습니다. 재료에 따라 타겟 재료는 금속 타겟, 폴리머 세라믹 비금속 타겟 및 합금 타겟 등으로 나눌 수 있습니다.

2. 타겟 소재는 재료에 따라 일반 금속 타겟, 귀금속 타겟, 희토류 금속 타겟, 비금속 타겟, 합금 스퍼터링 타겟, 세라믹 스퍼터링 타겟 등으로 나눌 수 있습니다.

3. 응용분야에 따라 반도체용 타겟, 디스플레이 패널용 타겟, 태양전지용 타겟, 자기기록용 타겟 등으로 구분할 수 있다.

타겟 모양에 따른 분류

일반적인 타겟은 대부분 사각형 타겟과 원형 타겟으로, 이는 솔리드 타겟입니다. 코팅 작업에서 원형 영구 자석이 타겟 표면에 생성하는 자기장은 고리 모양이며, 불균일한 침식이 발생하고, 스퍼터링 필름의 두께 균일성이 좋지 않으며, 타겟의 이용 효율은 약 20%~30%에 불과합니다. 현재 추진 중인 중공 튜브 타겟은 고정된 막대 자석 어셈블리를 일정 시간 동안 회전할 수 있으며, 360도 타겟 표면을 균일하게 에칭할 수 있어 뚜렷한 장점이 있으며 이용률을 80%까지 높입니다.

대상물질에 따른 분류

기존의 금속 타겟: