Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.는 연구 및 생산을 전문으로 합니다.탄탈 스퍼터링 타겟및 진공 코팅 재료. 탄탈륨은 산화막을 형성하는 능력이 있고 보호 효과가 있기 때문에 탄탈륨 타겟은 전해 콘덴서 제조용 기판으로 널리 사용됩니다. 이번에는 마이크로일렉트로닉스 분야에서 탄탈륨 스퍼터링 타겟의 응용이 소개되었습니다.
열전사 잉크젯 프린트헤드 애플리케이션을 위한 탄탈륨 타겟
열전사 잉크젯 프린트 헤드는 박막 집적 회로의 제조에 사용될 수 있으며, 이는 탄탈륨 타겟의 사용을 용이하게 합니다. 집적 회로의 제조 공정에서 박막 저항기는 1.28E9 watts/m2에 가까운 에너지 밀도로 잉크의 필름 층을 빠르게 가열하는 데 사용되므로 일부 매우 작은 잉크가 증발하여 실제로는 작은 확장된 기포를 형성합니다. 잉크 방울이 배출되었습니다. . 고온 잉크는 일부 잉크젯 인쇄 장비에서 캐비테이션을 일으킬 수 있으므로 탄탈륨 캐비테이션 방지 필름을 사용하면 잉크 설치를 보호할 수 있습니다.
구리 도금용 탄탈륨 타겟
탄탈륨 박막은 집적 회로의 제조 공정에서 명백한 이점이 있습니다. 탄탈륨 스퍼터링 타겟 사용의 주요 발전 중 하나는 구리 도금의 적용입니다. 구리가 저온 플라즈마 에칭 조건에 있기 때문에 포토레지스트 마스크 및 플라즈마 에칭 기술을 사용하여 구리를 형성할 수 없습니다. 원하는 휘발성 성분이 형성되지 않습니다. 일반적으로 구리 재료의 높은 전도성으로 인해 배리어 필름이 구리를 완전히 격리해야 합니다. 그러나 배리어 필름이 너무 두꺼우면 구리 인터커넥트의 높은 전도성 이점이 손실됩니다. 따라서, 구리 도금 방식에서 배리어 필름의 증착은 비아/트렌치 보이드에서 우수한 스텝 커버리지와 감소된 돌출부를 갖는 것이 중요합니다. 00.10um 구리 IC를 대체할 때 탄탈륨 및 산화질소 PVD 차단 필름은 우수한 구리 확산 및 전해질 및 구리에 대한 우수한 접착력과 같은 몇 가지 고유한 이점을 보여줍니다.
그만큼99.98% 탄탈륨 타겟Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.에서 생산하는 제품은 진공 고로의 가열 부품, 단열 부품 및 장입 용기로 자주 사용됩니다. 당사에서 생산하는 탄탈륨 타겟은 화학 산업에서 기질로 사용할 수 없습니다. , 항공 우주 산업, 의료 장비 및 기타 분야.
