존재할 수 있는 먼지나 오물을 제거하기 위해 대상 표면을 청소합니다. 금속 대상을 청소하려면 다음 4단계를 사용할 수 있습니다.
처음에는 아세톤에 적셔 보풀이 없는 부드러운 천을 사용하여 청소합니다.
알코올로 청소하려면 두 번째 절차는 첫 번째 절차와 유사합니다.
탈이온수로 세척하는 것이 세 번째 단계입니다. 탈이온수로 세척한 후 타겟을 섭씨 100도에서 30분간 오븐에서 건조해야 합니다. 산화물 및 세라믹 타겟을 세척하려면 "보푸라기가 없는 천"을 사용하는 것이 좋습니다.
스퍼터링 시스템에서 아크를 유발할 수 있는 불순물을 제거하기 위해 네 번째 단계에서 타겟을 고압, 저수분 아르곤으로 세척합니다.
타겟 물질을 사용하기 전에 손이 깨끗하고 보풀이 없는지 확인하십시오. 절대로 대상물질에 직접 손을 대지 마세요.
스퍼터링 공정 중 더러운 캐비티로 인해 발생하는 단락 및 아크 발생을 방지하려면 스퍼터링 트랙의 중앙과 양쪽에 쌓인 스패터를 점차적으로 제거해야 합니다. 또한 이를 통해 사용자는 최대 전력 밀도에서 지속적으로 작동할 수 있습니다. 스퍼터링.
